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加速MEMS生产革新,传感器系统赋能自主移动

据麦姆斯咨询报道,2018年10月28日至30日,国际半导体产业协会(SEMI)在美国加利福尼亚州纳帕市举办了2018年微机电系统(MEMS)和传感器执行会议(简称MSEC)。此次MSEC 2018的主题为“传感器系统赋能自主移动”。通常在讨论汽车时,会比较多的谈及汽车的自主移动(亦即自动驾驶),但它也同样适用于可穿戴设备、便携式医疗器械、食品输运和农业平台以及各类远程监控系统(如环境、天气、能源、工业物联网等)。MSEC 2018将专注于这些领域的系统级解决方案,包括MEMS/传感器和执行器,独特的应用和创 新的技术或市场解决方案。以下为部分参加会议的专家精彩演讲内容。

美国国防高 级研究计划局(DARPA)寻求MEMS行业合作伙伴

来自美国五角大楼的美国国防高 级研究计划局(DARPA)正在寻找一些优 秀的MEMS行业成员,来为其加速MEMS生产革新计划(简称RIPM)提供建议和帮助。

DARPA微系统技术办公室的项目经理Ronald Polcawich在MSECzui后**发表了关于RIPM的主题演讲。

他在今年5月份举办了一场关于RIPM的研讨会,还在夏天与那些无法参加研讨会的人员进行交谈。Polcawich回顾之前的DARPA计划,如MOSIS、SUMMIT和HERMIT,正试图通过RIPM促进政府与企业之间MEMS设计和制造的合作伙伴关系,这将涉及“大规模的整合”,他说道。

Polcawich表示,RIPM旨在开发可抵御恶劣环境的MEMS封装。他补充说,它“必须具有高良率和可重复性”和“可以集成各种组件”,包括滤波器拓扑、模拟信号处理、声学阵列和惯性传感器阵列。

继去年春季研讨会之后,Polcawich收到了有关LSI MEMS、IP、单芯片MEMS + CMOS以及如何为专家和新手制作更有用的PDK等问题。

据Polcawich称,还有一些人对开发PZT-on-SOI射频MEMS谐振器感兴趣。

新 的 MEMS创 新 浪 潮

Yole光子学、传感和显示部门主管Guillaume Girardin谈到了MEMS、传感器和执行器,以及它们在哪些地方可以与新应用结合使用。

Guillaume Girardin表示,目前将AI赋能MEMS,将在“下一个10年,迎来MEMS新的创 新浪潮”,MEMS器件“正在走向智能化的道路——增强了声音、图像、嗅觉和运动的感知”。

他还提到使用锆钛酸铅制造MEMS,尤其用于生产3D传感器。这位Yole分析师称,预计到2023年,3D成像和传感市场将增至185亿美元左右,而去年这一数字仅为20.6亿美元。

他补充说:“手机摄像头已成为多传感器光电接口。机器人汽车、自动驾驶汽车和电气化都将深刻影响未来的汽车。”

Girardin还谈到了MEMS和传感器在开发自动驾驶汽车的作用,特别是L5级自动驾驶车辆和机器人出租车。

超薄MEMS

美国半导体(American Semiconductor)公司总裁兼**执行官(CEO)Doug Hackler讨论了有关超薄MEMS的主题。他的公司提供半导体聚合物芯片级封装IC。

“什么在驱使MEMS变薄的需求?”他回答道:“手机、电路板组装的厚度以及更多电子层功能。”

Hackler声称,标签的目的是为了“消除磨损和混淆带来的失效”。

他补充说,在成型和层压方面有创  新,比如新兴的模内电子产品,常用于“可热成型和注塑成型的汽车面板”。

“灵活的电子产品需要薄型元件,”Hackler说,“缩小厚度已成为并将继续影响半导体封装的一个因素。薄意味着更酷、更讨喜、更称心。”当然,薄度在赢得消费者对产品的满意度方面还有很长的路要走。

他的结论是:“拥抱超薄。硬件很重要——让我们一起来创造新技术。”

医疗保健和可穿戴

Matrix Integrated Products公司的Craig Easson和Sudhir Mulpuru谈到了可穿戴电子产品在医疗保健领域的作用。Mulpuru说,“生物电势、温度、光学和电源管理IC是靠电池供电的可穿戴设备的四项关键技术。”

他指出:“可穿戴设备让人们更容易监控健康。”他又补充说,“与健康相关的可穿戴设备可以监测心率变化、血氧饱和度(SpO2)、心脏状态、血压、血红蛋白、血糖和体温。”

Mulpuru说:“集成可以实现更小的外形,以便更快地采用。”他例举了他们为Spire Healthcare Group的Health Patch和Motiv的Ring各自应用而精心设计的可穿戴设备。

农业和食品应用

ULVAC Technologies的高 级顾问David Mount对“传感器与农业食品”发表了激动人心的演讲,发表了“行动倡议——大家都来关心食品”。

他补充说:“未来的农场就在这里,这是硅谷与中央谷(美国加州的农业生产重地)的激情碰撞。”Binbots是一种农业机器人,有朝一日能够用来采摘酿酒葡萄。Mount评价它为“硅谷与纳帕谷(美国加州北部著 名的葡萄酒乡)的邂逅”。

据Mount称,区块链、云计算和物联网技术可以应用在食品供应链中,用来跟踪食品来自何处,是否在整个分销周期中冷藏,并将食品安 全放在首位。

他夸赞了美国烹饪学院和哈佛大学公共卫生学院联合推出的“菜单变革”计划。“菜单变革”建立了大学研究合作联盟,汇集了51所农业技术研发的大学和学院。“学术界需要帮助,”他评论道,“他们渴望您的参与。”

Mount说:“我们生产和消费食物的方式都处于危机之中。”

环境传感器

博世传感器全球业务发展总监Marcellino Gemelli发表了有关环境传感器的讨论。例如,他说,压力传感器对无人机和自动驾驶汽车的运行都至关重要。

“我们必须关注无人机内部的状况,”他说,“压力传感器(和智能手机中应用的压力传感器类似),将有助于整个飞行过程的稳定性。”

Gemelli补充说,环境传感器还可以应用在自动驾驶出租车和共享汽车服务的车队管理中。MEMS环境传感技术可以感知乘客是否在车内吸烟或吃异味食物,并发觉乘客是否呕吐。

这位博世高管指出,人工智能将有四波浪潮——互联网数据、商业数据、现实世界数字化和全自化。

超声波传感

Chirp Microsystems的CEO Michelle Kiang是今年MSEC的zui后一位发言人。她详细介绍了她的公司历史,其公司的技术源于加州大学伯克利分校和戴维斯校区的研究,该公司已于去年2月被TDK集团收购。

“超声波测距在自然界的应用很常见,”她指出,“超声波传感可应用在汽车、无人机和机器人上。”

Kiang补充说,Chirp的超声波传感技术“可以在任何光照条件下工作”,这可能是自动驾驶汽车中某些传感器的难题。

她把Chirp描述为“MEMS 2.0公司”,其技术可应用于“日常产品”。

Kiang给出的结论:“适合更多MEMS/半导体初创公司的时机已经成熟。可以获得的种子基金越来越多,对半导体投资的需求也在增加。”她补充说,“资本效率是成功退出的关键。”

zui后,奖项花落谁家?

MSEC会议的zui后,根据参会者的投票结果,从展示的产品中评选出更具影响力和更有趣的产品,并进行了颁奖。该奖项zui终授予Alertgy的葡萄糖监测仪,这是一种基于生物传感器的腕带设备,可为糖尿病患者提供无创、实时的血糖监测。